据外媒报道,光罩对准器制造商ASML的首席执行官兼总裁彼得·维尼克本周前往韩国,参加华成半导体集群的奠基仪式。
据外媒报道,彼得·维尼克在韩国期间还透露了他们下一代极紫外光刻机的消息,也就是很多客户都在期待的高数值孔径极紫外光刻机。
据外媒报道,当地时间周二,彼得·维尼克在首尔的新闻发布会上透露了高数值孔径极紫外光刻机的消息他透露,将于2024年开始出货
此外,Peter Wienicke还在会上透露,从长远来看,他们计划每年生产20台高数值孔径极紫外光刻机。
根据ASML此前在财报中透露的信息,他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机有两个型号:TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200前者已经获得了2018年客户的订单,而后者也在去年第四季度获得了第一笔订单
虽然Peter Wienicke透露,他们的高数值孔径极紫外光刻机将于2024年开始出货,但他们的客户在安装和测试后投入生产还需要一段时间。
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